P-820系列半導(dǎo)體氣體流量計(jì)

概要：與P-810系列一樣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工藝中的各種氣體流量測(cè)控?？芍谱鲙в写呕砷_關(guān)警報(bào)裝置。

主要用途：半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

參數(shù)：

測(cè)量對(duì)象：全部液體,全部氣體

流量范圍：空氣，最小范圍:4～20 mL/min (nor)，上限范圍:12～60 L/min (nor)

水，最小范圍:5～50 mL/min，上限范圍:0.2～2 L/min

空氣在0c.OMP ( 1 atm)的流量。

選擇流量范圍時(shí),請(qǐng)到下載中心下載本產(chǎn)品PDF參照標(biāo)準(zhǔn)流量表

氣體的使用莊力不為OMPa時(shí)，請(qǐng)電話咨詢。

有效刻度范圍：10:1一-部分為10:2

有效指示精度：P-823:±3o.S.

P-821 :土5%F.S.

上限使用壓力：0.8MPa

上限使用溫度：120℃

材質(zhì)構(gòu)成：

標(biāo)準(zhǔn)：可選

本體接液部：scS14，sus316 (sus316L亦可)

錐管：耐熱玻璃

墊圈：FPM(max.120c)，cR (max.80 c)

本體側(cè)板：sPCc，C2801P

面板：亞克力

連接方法：

標(biāo)準(zhǔn)：Rc1/4

可選：Rc1/8,NPT178 1/4,3/8sw,1/4,3/8VGR等。詳情請(qǐng)參照基本形式編碼表。詳情請(qǐng)參照產(chǎn)品選型指南。

安裝方法：

標(biāo)準(zhǔn)：面板前安裝六角螺母

可選：：安裝遮光板

重量（標(biāo)準(zhǔn)型)：約0.6 kg (P-821)

P-820系列半導(dǎo)體氣體流量計(jì)

※刻度長(zhǎng)度根據(jù)流量范圍變化。

☆1測(cè)量范圍小于100 mL/min (nor)有效刻度為10:2

☆2測(cè)量范圍大于30 Lmin (nor）有效刻度為10:2

☆3測(cè)量范圍大于1 Lmin有效刻度為10:2

☆4測(cè)量范圍大于10 L/min (nor）有效刻度為10:2

☆5測(cè)量范圍大于1 L/min有效刻度為10:2

☆6液體的粘度為1.OmPa - sa

☆7液體的粘度為1.0mPa - s。

重慶稼釔科技有限公司主要從事流體系統(tǒng)的技術(shù)咨詢、服務(wù)、產(chǎn)品供應(yīng)及系統(tǒng)成套。主要服務(wù)于泛半導(dǎo)體行業(yè)高純輸送系統(tǒng)、儀器儀表、環(huán)保等行業(yè)，為客戶提供高純輸送系統(tǒng)項(xiàng)目建設(shè)、高純管道系統(tǒng)零部件材料供應(yīng)、儀表管閥件產(chǎn)品、流量計(jì)及液位計(jì)產(chǎn)品、噴霧系統(tǒng)等流體技術(shù)類相關(guān)產(chǎn)品，公司積累了相關(guān)行業(yè)的國(guó)際化品牌資源，為客戶提供高性價(jià)比的產(chǎn)品和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)。公司團(tuán)隊(duì)來(lái)自于行業(yè)頭部企業(yè)，積累豐富的行業(yè)服務(wù)經(jīng)驗(yàn)，公司秉承服務(wù)專業(yè)、做事勤懇、產(chǎn)品優(yōu)良、創(chuàng)造雙贏的理念精心服務(wù)客戶。

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